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本发明公开了一种基于涡街与压电薄膜的氢气传感器及其制备方法。通过旋转涂覆方法，实现微米级压电薄膜的制备；之后，通过磁控溅射手段在微纳纤维上修饰气敏层与对照电极层；最后对复合压电膜极化封装组装部件实现基于涡街与压电薄膜的氢传感单元制备。本发明...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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