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一种独用参比的声表面波气体传感器阵列制造技术
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文档序号:9222736
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本发明公开了一种独用参比的声表面波气体传感器阵列,包括n个测量传感器和n个参比传感器,还包括一个具有2n个振荡回路的传感器阵列电路板和由一个气罩紧扣在电路板上而构成的气室,n个测量传感器和n个参比传感器同时安装在所述气室中,沿气流方向,测量...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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