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一种应用热交换生产多晶硅铸锭的方法技术
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文档序号:9220837
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本实用新型涉及一种应用热交换生产多晶硅铸锭的方法,该方法包括下列要素和步骤:A、将多晶硅铸锭炉内的两侧的加热器增高,使之与坩埚的高度相近或相一致;B、将热交换台的平面状热交换面设计成弧形状的热交换面;C、功率控制:将多晶炉内的顶部加热器的功...
该专利属于浙江晟辉科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晟辉科技有限公司授权不得商用。
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