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本实用新型公开了一种湿法刻蚀机，该湿法刻蚀机包括刻蚀槽、溢流槽、挡板、滚轮和盖板，其中，刻蚀槽内盛满反应药液，且通过挡板与溢流槽相分隔，刻蚀槽与溢流槽内均设置有承载硅片的滚轮，通过滚轮的转动传输硅片，盖板设置于挡板的上方，该盖板固定于滚轮的...
该专利属于天津英利新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津英利新能源有限公司授权不得商用。

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