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本发明涉及用于检查对象（1）以检测该对象的有缺陷表面区域的方法和设备。借助二维图像数据来对潜在有缺陷的表面区域定位。在至少一个横截面中存在测量的表面变化曲线，将所述测量的表面变化曲线与计算的表面变化曲线相比较，其中在存在显著差异的情况下将定...
该专利属于西门子公司所有，仅供学习研究参考，未经过西门子公司授权不得商用。

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