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公开了一种质量流量控制器及其工作方法。该质量流量控制器包括：质量流量控制系统，用于控制流体的质量流量；以及数据记录组件，用于针对多个再次发生的状态类型中的各状态类型来获得状态特有数据的快照，并且将状态特有数据的各快照还原为表现状态特有数据的...
该专利属于日立金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日立金属株式会社授权不得商用。

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