下载用于将四氯化硅转化为三氯硅烷的方法及装置的技术资料

文档序号:9201955

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一种用于在反应器中氢化氯硅烷的方法,其中将至少两种反应物气流彼此独立地引入至反应区中,其中引导包含四氯化硅的第一反应物气流通过第一热交换器单元,在所述第一热交换器单元中加热所述第一反应物气流,然后引导通过加热元件,在所述第一反应物气流到达所...
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