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一种晶圆缺陷检测机台包含承载平台、光学检测装置、位移机构与控制单元。光学检测装置设置于承载平台的上方。光学检测装置具有光轴，且包含光源、分光镜、起偏振片、偏振分光棱镜、物镜、检偏振片与图像传感装置。分光镜、偏振分光棱镜、物镜、检偏振片与图像...
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