下载多晶硅铸锭炉氩气环流排杂装置的技术资料

文档序号:9181950

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本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉氩气环流排杂装置,它由C-C热场上、下保温框,氩气导管,石英坩埚,氩气导流板,挡流盖板,氩气主导流筒构成,其由上下保温框组成的一个密闭可控温度场,氩气导流板与挡流盖板通过螺栓一次性固定于上保温框上,保温框的四周...
该专利属于陕西天宏硅材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过陕西天宏硅材料有限责任公司授权不得商用。

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