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静电梳齿谐振器制造技术
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文档序号:9173292
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本发明涉及一种静电梳齿谐振器,包括上下锚点、第一叉指电容、第二叉指电容、第三叉指电容、第四叉指电容、上下弹性梁、振子质量块和左右锚点,振子质量块包括左部质量块和右部质量块;其特征是:所述左部质量块左侧的中部向左部质量块右侧凹进形成左部槽体,...
该专利属于江苏物联网研究发展中心所有,仅供学习研究参考,未经过江苏物联网研究发展中心授权不得商用。
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