下载带有InAlP盖层的GeSn沟道金属氧化物半导体场效应晶体管的技术资料

文档序号:9172307

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本发明提供一种带有InAlP盖层的GeSn沟道MOSFET。该MOSFET(10)的特征在于:在基底(108)上的GeSn沟道(101),GeSn沟道上面为InAlP盖层(102),在InAlP盖层和栅(106)之间是绝缘介电质薄膜(103...
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