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传感器模块、力检测装置以及机器人制造方法及图纸
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文档序号:9169301
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本发明提供传感器模块、力检测装置以及机器人。传感器模块具备:第一部件,其具有:供具备电极的压电体元件配置的第一凹部;与第一部件接合的第二部件;与第二部件接触的第一板;与第一部件接触的第二板;以及紧固第一板以及第二板的紧固部,第一板形成有朝向...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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