下载一种角分辨散射测量装置及其测量方法的技术资料

文档序号:9169077

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出一种角分辨散射测量装置及其测量方法,该装置包括:照明光学组件、成像光学组件、投影物镜及探测器,其特征在于照明光学组件包括光强优化器件,通过调节所述光强优化器件使所述探测器的探测面上反射光强趋于均匀分布。本发明还提出一种利用角分辨散...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。