下载一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备的技术资料

文档序号:9166890

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本发明公开了一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备,包括外罩、下平台、衬底、喷雾燃烧装置和抽气装置,外罩内部为沉积室,下平台设置在外罩底部中央,衬底设置在下平台上,喷雾燃烧装置设置在衬底上方,外罩上开有与外罩内部相通的抽气孔,抽气装置与抽气孔...
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