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本发明提供一种多晶硅制造用石墨夹头再利用方法，该方法通过有效分离被蒸镀在多晶硅制造工序中所用到的石墨夹头表面上的多晶硅，从而不仅对被蒸镀的多晶硅进行再利用而且对石墨夹头也进行再利用，根据本发明的多晶硅制造用石墨夹头的再利用方法包括：1)从硅...
该专利属于阿波罗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿波罗科技有限公司授权不得商用。

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