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涂布装置制造方法及图纸
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下载涂布装置的技术资料
文档序号:9163071
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本发明的涂布装置通过使用多个卡盘(110)对杆(109)进行保持,并与各卡盘(110)对应地设置加压元件,就能局部地使用加压元件一边对各卡盘(110)的加压载荷进行调节一边进行加压,因此,能容易地将涂液高精度且均匀地涂布在有翘曲及凹凸的基板...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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