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用于测量气体与液体压力的硅压阻式MEMS压力传感器，属于压力传感器应用技术领域。本实用新型解决了现有MEMS气体压力传感器抗氧化性与耐腐蚀性差的问题。本实用新型为轴对称结构，它的第一玻璃体为圆柱形结构，硅橡胶薄膜覆盖并固定在该第一玻璃体的下...
该专利属于哈尔滨理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨理工大学授权不得商用。

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