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本发明“光伏器件表面纳米化干法制绒制备方法”属于光伏太阳能电池片制绒技术领域，适用于所有以硅材料为主的太阳能电池片，包括单晶硅、多晶硅、准单晶和非晶硅。通过使用反应离子干法腐蚀仪对太阳能电池片表面进行刻蚀工艺，使表面产生纳米化绒面，重新分布...
该专利属于张家港费曼光电科技有限公司;刘钢所有，仅供学习研究参考，未经过张家港费曼光电科技有限公司;刘钢授权不得商用。

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