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本发明公开了一种异质结板式PECVD载板，包括载板基体，所述载板基体上设有若干镂空槽，所述镂空槽四面内壁为斜坡面，所述镂空槽内设有与镂空槽配合的压框。该异质结板式PECVD载板，在硅片镀膜的过程中可以杜绝电离的气体跑到硅片背面去而形成反掺以...
该专利属于国电光伏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国电光伏有限公司授权不得商用。

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