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基板处理装置用于对基板的主面施行利用药液的处理。该基板处理装置包括：基板保持单元，其用于保持基板；药液供给单元，其具有用于向上述基板保持单元所保持的基板的主面供给药液的药液喷嘴；加热器，其直径小于基板的直径，并且具有红外线灯，该加热器与上述...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

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