下载单元节距可控的植球装置及植球方法的技术资料

文档序号:9144412

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本发明提供了一种单元节距可控的植球装置以及一种植球方法,该植球装置包括:主体,包括连接部分、多个第一凸块、多个第二凸块、多个插入孔;吸附杆,具有连接杆和从连接杆向下突出的多个吸附管;多个加热部件;检测部件,设置在位于第二凸块中的第二通孔中;...
该专利属于三星半导体(中国)研究开发有限公司;三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星半导体(中国)研究开发有限公司;三星电子株式会社授权不得商用。

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