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本发明提供一种低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置，其具备以有助于升温时间的缩短化的方式配置的少量温度传感器。低温泵（10）具备：1级板（20），其通过制冷机（16）的1级冷却台（22）冷却；2级板（18），其通过制冷机的2级冷却台（...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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