下载生产热电转换材料的方法、装置及生产溅射靶材的方法的技术资料

文档序号:9138742

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本发明涉及半导体材料领域,具体而言,涉及生产热电转换材料的方法、装置及用该材料生产溅射靶材的方法。生产热电转换材料的方法,包括如下步骤:(A)将质量分数0%-15%的铋、25%-40%的锑和56%-63%的碲混合,组成原料;(B)对原料进行...
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