下载缓蚀剂及其制备方法的技术资料

文档序号:9138164

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本发明公开了一种缓蚀剂及其制备方法,其中缓蚀剂由下述组分按质量百分比组成:双子咪唑啉基季铵盐型表面活性剂10%~30%;双子吡啶季铵盐型表面活性剂10%~60%;互溶剂5%~10%;增效剂2%~5%;溶剂15%~60%。本发明的缓蚀剂具有良...
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