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一种平面内嵌电极的制备方法技术
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文档序号:9114469
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本发明公开了一种平面内嵌电极的制备方法,适用于电极制备领域,其特征在于通过以下步骤完成:衬底的清洗;衬底的修饰;在修饰过的衬底上光刻电极图案;蒸镀金属电极;金属电极的表面修饰;光刻胶的剥离;旋涂PDMS和PDMS的固化;电极从衬底上转移等步...
该专利属于东北师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过东北师范大学授权不得商用。
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