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本实用新型公开了一种石墨烯半导体制备装置，属于半导体制备技术领域。所述方法装置：离子产生模块、磁偏转模块、共振吸收模块和离子注入模块；其中，所述磁偏转模块、所述共振吸收模块位于所述离子产生模块和所述离子注入模块之间，且所述磁偏转模块、所述共...
该专利属于江汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过江汉大学授权不得商用。

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