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一种六自由度精密定位工作台，它由上下两层平台连接而成，其中下层平台由两组双平行板式柔性铰链作为导向机构，采用三组驱动单元实现两个方向的平动和一个方向的转动。上层平台与下层平台的运动平台部分连接，采用三组等边三角形布置的驱动单元和球面副柔性铰...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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