下载研磨机工作台的技术资料

文档序号:9094080

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一种研磨机工作台,包括位于工作台两侧的台条,在所述的台条上粘贴导电台布,在两侧的台条之间设置至少三个支撑板,支撑板顶端为圆弧状,且支撑板顶部也粘贴导电台布。采用上述技术方案的本实用新型,具有以下优点:1、减少了台布接触基板的面积,可以有效降...
该专利属于郑州旭飞光电科技有限公司;东旭集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过郑州旭飞光电科技有限公司;东旭集团有限公司授权不得商用。

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