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本发明涉及一种使用具有预定波长的激光束来刻蚀第一材料的层（14）的区域（16）的方法，所述区域（16）被沉积在至少两种第二材料（10、12）的表面处。该方法包括：在所述第一材料的层（14）上沉积第三材料的层（18），所述第一材料和所述第三材...
该专利属于原子能与替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过原子能与替代能源委员会授权不得商用。

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