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一种测量物质在不同温度释放气体流速和流量的装置制造方法及图纸
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下载一种测量物质在不同温度释放气体流速和流量的装置的技术资料
文档序号:9086569
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本发明的整套装置由反应罐、压力传感器、质量流量仪、流量控制阀、阀门、真空压力表、真空抽气泵、管路系统和控温系统构成,其中质量流量仪可以快速准确地读取气体释放速率和释放量的数值,真空抽气泵可以保证装置测试开始管路内不含干扰气体,控温系统可以灵...
该专利属于桂林电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过桂林电子科技大学授权不得商用。
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