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本发明公开一种高精度位置检测装置及方法，属于光学检测领域。该装置包括：短相干光源、准直透镜、起偏器、1/2波片、分光器、全反射镜、耦合透镜、末端反射式光纤分束器、聚焦透镜、检偏器、传感器、两个1/4波片和变焦透镜，各部件形成参考光路和测量光...
该专利属于辽宁科旺光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁科旺光电科技有限公司授权不得商用。

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