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本发明公开了金属有机化合物化学气相沉积加热器制作方法，包括以下步骤：将并排的加热丝在加热状态下，嵌入一事先加工好的模具的槽内，模具的槽深比加热丝的截面高度小0.2-0.5mm；将嵌入槽中的加热丝和模具一起放置在氢气气氛保护或者真空加热炉中加...
该专利属于苏州艾默特材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾默特材料技术有限公司授权不得商用。

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