温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种氟化氢车间安全自动控制系统，包括可编程逻辑控制器、人机界面、滤波器、电源、备用电源和继电器，所述可编程逻辑控制器、人机界面和电源连接，所述备用电源与电源连接，电源连接滤波器接入市电电线，市电电线上设有总开关，所述电源与备...
该专利属于昆山晶科微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山晶科微电子材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。