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制备涂层、薄膜或复合材料的装置制造方法及图纸
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文档序号:9072336
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本实用新型适用于薄膜、镀层或者复合材料的制备领域,提供了一种制备涂层、薄膜或复合材料的装置。包括:溶液槽、待沉积溶液冷却装置、沉积槽、高压循环泵、冷却槽、电极发生装置和超声波发生装置;溶液槽和待沉积溶液冷却装置之间有输出管,待沉积溶液冷却装...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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