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下载研磨用具的技术资料

文档序号:9063544

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本发明涉及一种研磨用具,在研磨平台上铺满多张研磨垫片而构成,对所述研磨垫片的表面与端面的交界边部施加斜面。...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。

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