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本发明公开了在基本闭环方法和系统中制备多晶硅。该方法和系统一般性地涉及三氯硅烷的歧化以产生硅烷或二氯硅烷，和硅烷或二氯硅烷的热分解以产生多晶硅。...
该专利属于MEMC电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过MEMC电子材料有限公司授权不得商用。

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