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本发明涉及一种接触式探针，该接触式探针包括：固定构件；感应器，该感应器由一个或数个弹性元件相对于所述固定构件保持在静止位置，所述感应器能够响应于偏转力从所述静止位置移动；包括光源的检测系统，该光源借助所述感应器相对于所述固定构件的位移被驱动...
该专利属于特莎有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过特莎有限公司授权不得商用。

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