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一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法技术
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文档序号:9057279
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一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法,属于激光领域。其包括以下步骤:将金属模板及玻璃基片清洗并干燥后叠放置于加工平台,模板置于玻璃基片上方,利用CO2激光在模板上离焦辐照,离焦距离约为30‐50㎜,激光功率为40~50W,辐照...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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