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本实用新型公开了一种基板支撑装置,该装置包括下支撑板以及用于放置基板的上支撑板,所述下支撑板上设置有用于支撑所述上支撑板的支撑柱,所述下支撑板上还设置有用于推升或降下所述支撑柱以使所述上支撑板达到水平的水平调节器。本实用新型的基板支撑装置为...该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种基板支撑装置,该装置包括下支撑板以及用于放置基板的上支撑板,所述下支撑板上设置有用于支撑所述上支撑板的支撑柱,所述下支撑板上还设置有用于推升或降下所述支撑柱以使所述上支撑板达到水平的水平调节器。本实用新型的基板支撑装置为...