下载氮化铝单晶的制造装置和制造方法的技术资料

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本发明的氮化铝单晶的制造装置是通过加热氮化铝原料而使其升华,使氮化铝在晶种上再结晶,从而制造氮化铝单晶的氮化铝单晶的制造装置,具备:收纳氮化铝原料且由对氮化铝原料升华时产生的铝气具有耐腐蚀性的材料构成的生长容器和设置于生长容器的外侧且介由生...
该专利属于株式会社藤仓;独立行政法人产业技术综合研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社藤仓;独立行政法人产业技术综合研究所授权不得商用。

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