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薄膜晶体管、显示单元和电子设备制造技术
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文档序号:9035037
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本公开提供薄膜晶体管、显示单元和电子设备。该薄膜晶体管包括:栅极电极;栅极绝缘膜,设置在该栅极电极上;氧化物半导体层,设置在该栅极绝缘膜上并且具有面对该栅极电极设置的沟道区域;沟道保护层,设置在该栅极绝缘膜和该氧化物半导体层上;以及源极电极...
该专利属于索尼公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼公司授权不得商用。
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