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本发明涉及集成电路芯片处理技术领域，公开了一种晶粒转塔式取放装置，包括吸嘴机构和垂直动力机构，取放装置还包括支架和转盘，转盘设置在支架的悬臂梁下，转盘上设有多个转臂，每个转臂上设置一个吸嘴机构，转盘由一个力矩电机提供旋转动力，在转盘上方设置...
该专利属于嘉兴景焱智能装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴景焱智能装备技术有限公司授权不得商用。

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