下载半导体器件芯片级封装方法的技术资料

文档序号:9034891

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本发明公开了一种半导体器件芯片级封装方法,包括以下步骤:在半导体芯片的焊盘和钝化层上依次形成保护层和种子层;在种子层上形成金属再配线层;在金属再配线层上形成掩膜层,并在掩膜层上开设用于暴露金属再配线层的开口;对上述开口部位的金属再配线层进行...
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