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本发明提供一种离子注入方法、输送容器及离子注入装置，其提高对太阳能电池用基板表面进行离子注入的装置的生产率，本发明的离子注入方法包括：配置工序，在大气中，将与容纳太阳能电池用的基板的托盘一体使用的掩模配置于第1位置或第2位置，所述第1位置为...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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