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本发明属于激光技术应用领域，涉及一种用于隔离激光等离子体极紫外光源碎屑的隔离腔。它包括整流栅与腔体，腔体由中间圆柱形部分与两侧矩形部分连接组成。其中，圆柱形部分用于装接EUV椭球收集镜，两侧为水平方向的矩形流道，腔体矩形部分和圆柱形部分为曲...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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