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本发明涉及一种用于检测对象相对于基准系统的位置的装置。该对象在此至少沿两个正交的、第一和第二主运动轴线相对于基准系统可运动地布置。位置测量装置为了检测对象相对于基准系统的位置而包括至少两个、沿第一主运动轴线布置的、二维量具和四个用于光学地扫...
该专利属于约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司授权不得商用。

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