下载一种焦面变化测量装置与方法的技术资料

文档序号:9033514

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本发明提出一种焦面变化测量方法与装置,测量方法包括以下步骤:进入参考状态,标定参考曝光焦面的位置;更新基石相对所述参考曝光焦面的倾斜;进行参考掩模对准,获得参考对准焦面变化量,计算参考对准焦面位置;工件台基准板垂向运动到参考位置,调焦调平传...
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