下载TEM样本制备方法的技术资料

文档序号:9032894

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本发明提供了一种TEM样本制备方法。TEM样本制备方法包括:将薄片样本放置在样本支架上从而该薄片样本的第一侧面与聚焦离子束镜筒相对,其中该第一侧面比该薄片样本的第二侧面离薄片样本内的所期望的观察对象更近;为了形成薄膜部,对于第一侧面的与该薄...
该专利属于日本株式会社日立高新技术科学所有,仅供学习研究参考,未经过日本株式会社日立高新技术科学授权不得商用。

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