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基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器制造技术
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下载基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器的技术资料
文档序号:9032755
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本发明涉及MEMS矢量水声传感器,具体是一种基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器。本发明解决了现有MEMS矢量水声传感器抗流噪声性能差、灵敏度低、抗冲击性能差、质量重、声阻抗与水不匹配、以及加工制作困难的问题。基于压电效应的MEMS...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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