下载多姿态大口径平面光学元件面形检测装置和方法的技术资料

文档序号:9032649

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本发明公开了一种多姿态大口径平面光学元件面形检测装置和方法,包括光学系统(1)、三维精密运动平台(2)和面形检测控制与处理系统(3);三维精密运动平台(2)包括垂直运动导轨(4)、水平运动导轨(5)和旋转运动平台(6);三维精密运动平台(2...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心;西南科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心;西南科技大学授权不得商用。

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